ESR系列（節(jié)能型羅茨泵）是多級干式真空泵，設計用于從清潔到中負荷工藝的各種應用。ESR系列的泵速范圍從35到1,625 CFM，極限壓力低至1 mTorr。

1 x EBARA GENESIS泵522-023

1 x EBARA GENESIS泵522-021

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EBARA 305W渦輪分子泵控制器。

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1 x EBARA GENESIS真空泵522-223

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Ebara AAS20N干式真空泵經(jīng)過測試工作

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305W /渦輪分子泵控制器＃305W / EB原

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Ebara 50DVSL61.5泵USIP

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EBARA EV-S20P干式真空泵，正常工作

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EBARA AA10，干式泵，真空干式泵，

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EBARA GENESIS真空泵524-421

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bar原干式泵A70W，使用中

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